产品应用 微型传感头型分光干涉式 激光位移计 SI-F 系列

微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。

• [优点] 超高分辨率
  0.25 μm 的分辨率
• 多功能控制器
  算术运算电路将测量数据即时转换为厚度
• 不发热
  传感头中没有电子部件，不会产生热量

微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。

• [优点] ø2 mm 微型传感头
  无需预留安装位置
• 最高可承受 85°C
  即使紧靠发热的机身也能进行测量
• 5 kHz 高速采样
  即使是高速工件也可安全地测量

微型传感头可用于检测载物台停止的位置，因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。

• [优点] 10 mm 以上的设定距离
  无碰撞危险
• 最多 6 轴同时测量
  实现无时间误差的多轴控制
• ø8 mm 小型传感头
  无需预留安装位置

微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊（例如胶辊）的偏转。

• [优点] 对工件无伤害
  非接触测量方式避免损伤工件
• 直接表示偏转度
  控制器即时算出并显示偏转度
• 5 kHz 高速采样
  可紧跟高速旋转的工件

微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。

• [优点] 80 mm 的设定距离
  即使掩模较厚亦可安装微型传感头
• ø12 mm 小型传感头
  无需预留安装位置
• 不发热
  传感头中没有电子部件，不会产生热量

微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。

• [优点] 超高分辨率
  0.25 μm 的分辨率
• 5 kHz 高速采样
  可测量高速旋转的工件的厚度
• 最多 6 轴同时测量
  实现无时间误差的多轴控制